當溫度較低時，材料會產生內應力，使其中的導電添加物之間距離增加，從而增大其電阻。因此，必須要了解濕度和溫度。表面阻抗平行探頭阻抗測量法平行探頭阻抗測量法是符合EOS/ESD－S11.11－1993標準的測量方法，這是一種快速的測量平面均勻材料電阻值的方法。下面是使用表面電阻率測試儀測試的測試標準和使用方法。
表面電阻率測試儀用于多層材料的測量，但是在阻抗值報告中必須注明測量時的溫度和濕度條件。將表放在待測量的物體表面。將開關調到所需的電壓位置(10伏或100伏)。以大約5磅的壓力持續按下測量按鈕，此時LCD屏會顯示出測量的表面阻抗，溫度和相對濕度值，整個測量過程大約為十五秒種。表面阻抗單位為歐姆/□溫度單位為攝式，相對濕度單位為百分比在每次測量中，按下測量按鈕后，ACL-800表將連續顯示修整測量值，松開按鈕后約四十五秒內，顯示的是zui后一個測量值。這個測量方法是符合EOS/ESD-S4.1測量要求來測量獨立于接地的兩點之間的電阻，用這個測量方法得出的測量結果與被測物體的處理、兩個5磅探頭之間的距離等因素有關，因此，應選擇正確的測量規程，每次在同樣要求的測量條件下進行測試。
抗阻測試中溫度和濕度的測量很重要。由于溫度和濕度會直接影響被測物體的電特性。在溫度和濕度都較低的條件下，物體的電阻會明顯增大，使靜電泄放速度緩慢，時間增加，在高濕度條件下，物體表面凝結或吸附一層薄薄的水膜。這種吸濕性增強了材料的導電性，對于能吸收水汽的材料尤其如此。隨著溫度的升高，自由電的流動性增大，因此，增強了材料的導電性，尤其是添加了碳黑、金屬氧化物、金屬或其他導電物質的材料。
