| 品牌 | ROOKO/瑞柯 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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| 自動(dòng)化度 | 全自動(dòng) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
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| 方塊電阻 | 10^-5~2×10^5Ω/□ | 電阻率 | 10^-5~2×10^5Ω-cm |
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| 單點(diǎn)重復(fù)性 | ≤0.5% | 電阻精度 | ≤0.3%(標(biāo)準(zhǔn)電阻) |
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| 適用范圍 | 晶圓、半導(dǎo)體襯底、選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片、電鍍銅電阻等 | | |
一、產(chǎn)品概述
ROOKO 瑞柯微 FT-3110 全自動(dòng)四探針測(cè)試儀是一款專為材料電阻檢測(cè)設(shè)計(jì)的精密儀器,融合的測(cè)量技術(shù)與智能操作功能,為科研實(shí)驗(yàn)與工業(yè)生產(chǎn)提供穩(wěn)定可靠的檢測(cè)解決方案。儀器采用鎢鋼材質(zhì)探針,機(jī)械游移率≤0.3%,確保測(cè)試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性與重復(fù)性。
二、核心功能
測(cè)量參數(shù):可同時(shí)檢測(cè)電阻率、方塊電阻、材料厚度等關(guān)鍵指標(biāo),滿足多維度檢測(cè)需求。
自動(dòng)化操作:支持自動(dòng)正 / 負(fù)電流輸出與電壓測(cè)量,兼容單點(diǎn)、五點(diǎn)、面掃描等多種測(cè)試模式,測(cè)試點(diǎn)數(shù)可自由設(shè)置。
數(shù)據(jù)處理:專業(yè) V4.0 分析軟件可實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集、統(tǒng)計(jì)分析、單位換算,生成 2D/3D 掃描圖譜與詳細(xì)測(cè)試報(bào)表,支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出與打印。
靈活適配:探針壓力可調(diào)范圍 100-500g,載臺(tái)支持 2-12 寸圓形晶圓與 153mm×153mm 定制方片,適配不同規(guī)格樣品。
安全防護(hù):具備限位量程保護(hù)、壓力保護(hù)、急停功能及異常警報(bào),保障操作安全與設(shè)備穩(wěn)定。




三、技術(shù)參數(shù)
| 規(guī)格項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) |
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| 方塊電阻 | 10^-5~2×10^5Ω/□(FT-3110A);10^-6~2×10^5Ω/□(FT-3110B) |
| 電阻率 | 10^-5~2×10^5Ω-cm(FT-3110A);10^-6~2×10^5Ω-cm(FT-3110B) |
| 測(cè)試電流 | 0.1μA-100mA(FT-3110A);0.1μA-1A(FT-3110B) |
| 電阻精度 | ≤0.3%(標(biāo)準(zhǔn)電阻) |
| 單點(diǎn)重復(fù)性 | ≤0.5% |
| 電源參數(shù) | AC 220V±10%、50Hz,功耗<600W |
四、適用領(lǐng)域
半導(dǎo)體材料:晶圓、半導(dǎo)體襯底、選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片、電鍍銅電阻等;
新型材料:鐵電材料、納米材料、非晶硅 / 微晶硅材料等;
電子器件:太陽能電池、LCD、OLED、觸摸屏等;
科研與生產(chǎn):高校實(shí)驗(yàn)室、科研院所材料分析、電子制造業(yè)質(zhì)量檢測(cè)。
五、配置清單
六、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
ROOKO 瑞柯微 FT-3110 全自動(dòng)四探針測(cè)試儀 憑借寬量程測(cè)量、高精度數(shù)據(jù)、智能化操作與廣泛適配性,成為材料電阻檢測(cè)領(lǐng)域的優(yōu)選設(shè)備。儀器通過嚴(yán)格質(zhì)量檢測(cè),提供 13% 增值稅專用發(fā)票,搭配專業(yè)的技術(shù)支持與售后服務(wù),全程保障設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。